ベローズブラケットは振動を低減できますか?
2026-08-24
ベローズブラケットは本当に振動を低減できます。実験室での試験では22~35%の減衰効果が確認されており、リソグラフィー現場での実測データでもRMS値が47%低下しました。その原理、使用材料、および最適化のポイントをご説明します。
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